Boom de la fabrication de plaquettes : quelle est l'ampleur de l'écart dans les composants pneumatiques à semi-conducteurs locaux ?

June 29, 2026

Alors que les lignes de production nationales de plaquettes de 12 pouces entrent dans une période de mise en service dense, les composants pneumatiques haut de gamme destinés à la fabrication de semi-conducteurs sont confrontés à une demande explosive et sont devenus un champ de bataille essentiel pour les avancées en matière de localisation. Les données de l'industrie montrent que le marché chinois des vannes pneumatiques à semi-conducteurs devrait atteindre 5,61 milliards de yuans en 2026, en hausse de 18,7 % sur un an, maintenant une forte dynamique de croissance. Dans les nœuds de processus matures, la substitution nationale est entrée dans la phase d’adoption massive, mais le fossé technologique dans les processus avancés reste évident.

Boom de la fabrication de plaquettes : quelle est l'ampleur de l'écart dans les composants pneumatiques à semi-conducteurs locaux ?


Les progrès de la substitution montrent une différenciation évidente. Dans les liaisons de nettoyage humide et de livraison de produits chimiques de lignes de processus matures de 28 nm et plus, les vannes pneumatiques domestiques à six voies représentent 41,2 % de la capacité installée. Le taux de localisation global des vannes pneumatiques à ultra-vide dans les processus matures a dépassé 50 %, avec des taux de fuite des principaux produits nationaux atteignant 10⁻⁹ Pa·m³/s, correspondant essentiellement aux normes internationales. Les fabricants d'équipements nationaux ont augmenté l'objectif de localisation des vannes pour les nouveaux modèles à plus de 65 %, et la demande d'autonomie de la chaîne d'approvisionnement continue de pousser les composants nationaux à accélérer la vérification et l'adoption.

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Toutefois, les lacunes ne peuvent être ignorées. Dans les processus avancés de 14 nm et moins, le taux de localisation des composants pneumatiques de base du processus n'est que d'environ 22 %, et des catégories clés telles que les vannes à étanchéité métallique sous ultra-vide et les vannes de processus de haute pureté résistantes à la corrosion dépendent toujours fortement des importations. Il existe des pénuries structurelles de matériaux de base en amont tels que le caoutchouc perfluoroéther et les alliages spéciaux. Des lacunes existent encore en termes de stabilité à long terme des produits et de cohérence de la propreté par rapport aux marques internationales. Si l’on ajoute à cela les obstacles tels que la certification SEMI et les longs cycles de vérification des chaînes de production, la substitution complète prendra encore du temps. Entre l'immense espace de marché apporté par l'expansion des capacités et les barrières techniques en eaux profondes, la percée en matière de localisation des composants pneumatiques semi-conducteurs se trouve dans une période critique de passage de « utilisable » à « fiable ».
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